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认证信息
名称:贝克曼库尔特生命科学
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产品简介


贝克曼库尔特MET ONE 3411便携式空气颗粒计数器

MET ONE 3411 便携式空气颗粒计数器适用于半导体洁净室监测、过程标记和颗粒故障排除等方面的应用。MET ONE 3411 具有业界领先的 ISO 21501 数据准确性和再现性,是业内最洁净的 0.1um 便携式空气颗粒计数器。


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基本描述

便携式空气颗粒计数器|选择 MET ONE 3411 的优势所在

可让您的洁净室保持洁净
 0.1um级别的颗粒计数器能让排气扇点尘不染

热插拔电池-百分百确保仪器长时间连续运行
 由于仪器使用的是热插拔电池,故无论仪器是充电还是断电、计数归零及采用备份电源时都无需停机

测试向导(Test Wizard)能使您在组织洁净室时让合规性更容易得到保证
 可在监控您的半导体生产环境时节省时间并消除错误

顺序采样系统
 可用 MET ONE 3432 型顺序采样系统部署低成本的现场监控解决方案。用单台 MET ONE 3411 型空气颗粒计数器可依次从多达32个位置进行顺序采样。

灵活的通讯方式——设置简单,数据传输方便
 供选择的无线,以太网和串口通讯可以将数据传输到METONE数据管理系统,或者客户已有监控软件,以便减少文书工作

直观的用户界面
 简便的区域,位置和运行参数的配置和复制,节约运行时间。只需将完整的配置拷贝到一个 U 盘中,从而消除参数设置错误,并节省时间。还可以在整个颗粒计数组部署采样计划!

符合ISO 21501-4 标准的可靠性和准确性
 专用于满足特殊颗粒计数要求,仪器与仪器之间的准确度和再现性完全符合 ISO21501-4标准要求。


应用领域:

专应用于半导体行业的空气颗粒计数:
洁净室验证监测
洁净室的分级
ISO14644洁净室验证
洁净室颗粒物监测
生产过程的连续监测
颗粒污染源的排除过程
HEPA过滤器检漏,粒径大小包括 0.1、0.15、0.2、0.3、0.5 和 1um
过滤器扫描
高压气体监测可简单地通过气体选择菜单选择相应气体,流量会自动调整


产品参数:

通道个数 6
 粒径 0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0µ
 光源 氦氖激光器
 重量 不含电池:15.9 公斤,电池:0.66 公斤
 尺寸 33 W x 55.9 D x 22.9 H cm (宽 x 长 x 高)
 机箱材质 便于清洗的钝化不锈钢
 流速 1.0 CFM (28.3 LPM)
 零计数 ISO 21501-4 和 JIS B 9921 标准:5分钟内1颗或少于一颗, 95% 置信区间
 符合损失 在 50,000 /ft3 时,为5%,符合ISO 21501-4标准
 泵的类型 可供连续使用的专利的多瓣闭路循环控制泵
 计数效率 在0.1 µm时为 50%。根据ISO 21501-4和JIS B 9921,粒径大于0.15µm时为 100%
 运行温度 10 至 40°C; 相对湿度为10 至 90%,无冷凝
 显示 ¼ VGA 彩色 TFT 触摸屏
 打印机 高速热敏打印机
 语言 英语,法语,德语,意大利语,西班牙语,韩语*,日语*,中文
 可以显示的最大数值 9,999,999 displayed
 延迟时间 15秒钟至23小时59分59秒
 采样/停留时间 1秒钟至23小时59分59秒
 计数警报 1~ 9,999,999 个计数值
 位置 编号:0 至 999; 名称:文字描述,显示在打印输出资料上
 数据存储 5,000 个样品, 在历史数据查看页面上可以滚动(FIFO 或 Overflow)
 输出 USB 客户端 (版本为 1.1)USB 主机端 (版本为 1.1)RS485 配有TCP/IP 通讯协议的以太网配有802.11g通讯协议的无线输出 (可选)MET ONE 2432 型顺序采样系统 (警报和扫描探头)
 锂电池,可充电、可热插拔 Modbus TCP, Modbus RTU, 串行的 FX
 输入 空气速度探头,相对湿度/温度探头
 自动 CDA 清洗 连接到CDA之后,清洗电磁阀会被激活
 电源 24VDC,配有 100-240 VAC, 50/60 Hz 适配器
 电池类型 智能锂电池,可充电,可热插拔
 电池使用时间  最短 3 小时
 电池的充电时间 电池的充电时间
 包含电池数量 2组



空气颗粒计数器生命科学标准及委员会:
国际标准化组织 (ISO)
ISO14644洁净室及相关受控环境
ISO 21501颗粒分布测确定--用于无尘空间的光散射颗粒计数器
环境科学与技术研究所 (IEST)


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